Seto 1.60 fotochrominis objektyvas SHMC

1) Kas yra nugaros danga?

Spin danga yra procedūra, naudojama vienodoms plonoms plėvelėms dėti į plokščius substratus. Paprastai substrato centre uždedamas nedidelis dangos medžiagos kiekis, kuris arba sukasi mažu greičiu, arba visai nesisuka. Tada substratas pasukamas greičiu iki 10 000 aps / min, kad dangos medžiaga būtų paskirstyta išcentrine jėga. Mašina, naudojama nugaros dengimui, vadinama suktuku arba tiesiog suktuku.
Rotacija tęsiama, kol skystis sukasi nuo substrato kraštų, kol bus pasiektas norimas plėvelės storis. Taikomas tirpiklis paprastai yra lakus ir tuo pačiu išgaruoja. Kuo didesnis kampinis verpimo greitis, tuo plonesnė plėvelė. Filmo storis taip pat priklauso nuo tirpalo klampumo ir koncentracijos bei tirpiklio. [2] Novatorišką sukinio dangos analizę atliko Emslie ir kt., Ir ją pratęsė daugelis vėlesnių autorių (įskaitant Wilson ir kt., [4], kurie ištyrė plitimo dengimo danga; ir Danglad-Flores ir kt., [5], kurie rado universalų aprašymą, kad nusodintų deponuotą plėvelės storią).
Spin danga yra plačiai naudojama mikrofabrikiniam funkcinių oksido sluoksnių ant stiklo ar vieno kristalų substratų, naudojant sol-gelio pirmtakus, kur jis gali būti naudojamas vienodoms plonoms plėveliams, kurių storio nanoskalė storio, sukurti. [6] Jis intensyviai naudojamas fotolitografijoje, kad būtų galima nusodinti maždaug 1 mikrometro storio fotoresisto sluoksnius. Fotorezistas paprastai sukosi nuo 20 iki 80 apsisukimų per sekundę nuo 30 iki 60 sekundžių. Jis taip pat plačiai naudojamas gaminant plokščias fotonines struktūras, pagamintas iš polimerų.
Vienas pranašumas, kai sukimosi plonos plėvelės dengia dangą, yra plėvelės storio vienodumas. Dėl savaiminio lygio storis nesiskiria daugiau kaip 1%. Tačiau nugaros dangos storesnės polimerų ir fotorezistų plėvelės gali sukelti santykinai didelius kraštų granules, kurių plokščiavimas turi fizines ribas.