SETO 1.60 fotochrominis objektyvas SHMC

1) Kas yra sukimosi danga?

Dengimas sukimu yra procedūra, naudojama vienodoms plonoms plėvelėms nusodinti ant plokščių pagrindų.Paprastai nedidelis dangos kiekis dedamas ant pagrindo centro, kuris arba sukasi mažu greičiu, arba visai nesisuka.Tada substratas sukasi iki 10 000 aps./min., kad dangos medžiaga pasklistų išcentrine jėga.Sukimui naudojama mašina vadinama gręžtuvu arba tiesiog suktuku.
Sukimas tęsiamas, kol skystis nusuka nuo pagrindo kraštų, kol pasiekiamas norimas plėvelės storis.Naudojamas tirpiklis paprastai yra lakus ir tuo pat metu išgaruoja.Kuo didesnis kampinis sukimosi greitis, tuo plonesnė plėvelė.Plėvelės storis taip pat priklauso nuo tirpalo klampos ir koncentracijos bei tirpiklio.[2]Novatorišką teorinę sukimosi dangos analizę atliko Emslie ir kt., ir ją išplėtė daugelis vėlesnių autorių (įskaitant Wilson ir kt., [4], kurie tyrė sukimosi dangos plitimo greitį; Danglad-Flores ir kt., [5], kuris rado universalų aprašymą, leidžiantį numatyti nusodinto plėvelės storį).
Spin danga plačiai naudojama mikrogaminant funkcinius oksido sluoksnius ant stiklo arba monokristalinių substratų naudojant sol-gelio pirmtakus, kur galima sukurti vienodas plonas nanoskalės storio plėveles.[6]Jis intensyviai naudojamas fotolitografijoje, nusodinant apie 1 mikrometro storio fotorezisto sluoksnius.Fotorezistas paprastai sukamas 20–80 apsisukimų per sekundę greičiu 30–60 sekundžių.Jis taip pat plačiai naudojamas plokščių fotoninių struktūrų, pagamintų iš polimerų, gamybai.
Vienas iš plonų plėvelių dengimo privalumų yra plėvelės storio vienodumas.Dėl savaiminio išsilyginimo storis nesiskiria daugiau nei 1%.Tačiau besisukant padengiant storesnes polimerų ir fotorezistų plėveles, gali susidaryti santykinai dideli kraštiniai rutuliukai, kurių planarizacija turi fizines ribas.